簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="銅"


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    TaN、TaN+Cu及TiNO薄膜電阻元件
    • 應用科技研究所 /98/ 碩士
    • 研究生： 余奕衡   指導教授： 周賢鎧
    • 本研究目的在開發高阻值(≧3 kΩ)以及低TCR值(±25 ppm/℃)之薄膜電阻元件。實驗材料系統可分為氮化鉭(TaN)、共濺鍍氮化鉭與銅複合膜(TaN/Cu)以及氮化氧鈦(TiNO)，三種材料系…
    • 點閱：232  下載：9 

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    以電漿氧化成長氧化鉭摻銅薄膜之雙極式電阻切換研究
    • 材料科學與工程系 /100/ 碩士
    • 研究生： 趙啟良   指導教授： 周賢鎧
    • 本研究利用共濺鍍系統沉積出TaN(Cu)的混合薄膜，並使用電漿氧化的方式直接氧化下電極製作出中間電阻層，之後再沉積出TaN薄膜當作上電極，製備出TaN/Cu-TaOx/TaN(Cu)的MIM三層結構…
    • 點閱：178  下載：2 
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